彭强祥导师主页
基本信息
姓名: 彭强祥
职称: 讲师
单位电话:
电子信箱: qxpeng@xtu.edu.cn
办公室: 二教322
个人主页:
http://daoshi.xtu.edu.cn/index.php?code=teacherweb&action=showhomepage&id=1871
个人简介

男,1984年4月生,湖南娄底人,博士,讲师,硕士生导师,2014年在电子科技大学获得微电子学与固体电子学工程博士,师从电子科技大学校长,电子薄膜与集成器件国家重点实验室主任李言荣院士。2016-2017年在日本东京工业大学工学院Ohmi实验室进行学术交流,从事微电子材料与器件工艺、微电子机械系统(MEMS)工艺、铁电材料及其器件应用方面的研究,主持国家自然科学基金项目1项,重点实验室项目2项,博士启动基金项目1项。近5年发表一作SCI论文4篇,工艺工艺相关论文3篇,中国专利8项。目前主要的研究方向为氧化铪铁电材料、新型存储器设计与工艺、铁电器件的辐射效应。欢迎电子材料、微电子学、应用物理等专业的大四本科生报考硕士研究生!

研究方向

[1]. 铁电薄膜材料。包括物理(如Sputter、PLD)与化学溶液(CSD)法制备铁电薄膜(如SBT、HfO2)、生长机理、掺杂改性、微观结构表征与性能测试等。
[2]. 铁电存储器设计与工艺技术。包括金属/铁电薄膜/绝缘层/半导体(MFIS)结构设计与优化、铁电器件的集成电路工艺平台兼容技术、光刻、干/湿法刻蚀、磁控溅射等。

科研项目

[1]. 国家自然科学基金青年项目,氧化铪基铁电薄膜及其存储单元性能研究,主持,2016-2018; 
[2]. 强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室开放课题,MFIS制备技术及其场效应晶体管的总剂量效应研究,主持,2015-2017; 
[3]. 博士科研启动资金项目,铁电薄膜的图形化工艺研究,主持, 2015-2017; 
[4]. 装备用关键薄膜材料及其应用湖南省国防科技重点实验开放课题,铁电存储器用薄膜微图形化工艺技术研究,主持,2015-2016

代表性学术成果

[1] Q.X. Peng, W.B. Luo, J. Meng, W.Y. Fu, X. Qing, X.Y. Sun, Y. Shuai, C.G. Wu. W.L. Zhang. A new method of depositing high figure-of-merit porous PZT pyroelectric thick film using [001]-oriented PZT nanorod by electrophoresis deposition. J. Mater. Sci: Mater. Electron., 2014, 25(1): 297-302 

[2] Q. X. Peng,  W. B. Luo, C. G. Wu,,X. Y. Sun,  P. Li,  X. Y. Chen, The fabrication and pyroelectric properties of single crystalline PZT nanorod synthesized by hydrothermal reaction, J. Mater. Sci: Mater. Electron., 2014, 25(4):1627-1632
[3] Q.X. Peng, C.G. Wu, W.B. Luo, L. Jin, W.L. Zhang, C. Chen, X.Y. Sun. The Improvement of Pyroelectric Properties of PZT Thick Films on Si Substrate by TiOx Barrier Layer. Infra. Phys. Techn., 2013, 58: 51-55
[4] Q.X. Peng, C.G. Wu, W.B. Luo, C. Chen, G.Q. Cai, X.Y. Sun, D.P. Qian. An infrared pyroelectric detector improved by cool isostatic pressing with cup shaped PZT thick film on silicon substrate. Infra. Phys. Techn., 2013, 61: 313-318 
[5] Q.X. Peng, C.G. Wu, W.B. Luo, W.L. Zhang, J.Q. Cao. Study of PZT thick-film infrared detectors prepared by MEMS technology. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng., BeiJing, 2011, 8193, 81934J-4